12月9日,三组研究生与本科生在14号楼301进行了学术交流活动。请来的主讲人为李鑫(1992-),男,黑龙江大兴安岭人,硕士研究生。导师是梁庭老师,主要研究方向为MEMS压力传感器的器件结构设计和制备工艺。本次他报告的题目为《SOI高温压力传感器的结构优化与工艺制备》。
相较于传统的压力传感器,SOI压力传感器由于其耐高温的特性,在军工航天方面有着重要的应用。李鑫通过对题目的分解,先让大家了解高温压力传感器的测压原理和基本结构,而后针对结构优化和工艺制备的技术难点进行分析,使大家对SOI高温压力传感器有了很好的了解。
本次学术交流活动很好的调动了大家学习的积极性,扩展了视野。
